| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科小型排氣設備
日本ULVAC愛發科小型排氣設備
特征
通過玻璃鐘罩易于查看，易于維護。
真空室可以在不停止主泵的情況下打開。
由于增加了蒸發電源和電極，因此可以同時進行蒸發和多層蒸發。
它是帶腳輪的易于移動的真空泵系統。
| 型 | VPC-260F系列 | |
| 規范 | 極限壓力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa（帶 LN 冷阱） |
| 疏散時間 | 4.0×10-3帕/20分鐘 1.3×10-3Pa/20min（帶LN冷阱） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 （直徑 300mm × 300mm（高）） |
| 饋通套環 | 8 個端口（第 8 側） | |
| 推薦基板尺寸（最大基板尺寸）※1 | □50mm ? □140mm（最大） | |
| 電源系統 | 蒸發電極結構 | 1 積分 |
| 蒸發電極 / 電源 | SEREM “PSE-150C" 1 組 0~10V 150A（Max） | |
| 排氣系統 | 主泵 | 油擴散泵（風冷） 200L/sec |
| 液氮捕集阱 | 選擇 | |
| 副泵 | 油旋轉泵100L/min | |
| 油霧捕集器 | 選擇 | |
| 作系統 | 主閥 | 拍板閥 |
| 副閥 | 三通閥 | |
| 自動泄漏閥 | 選擇 | |
| 控制 | 手動控制 | |
| 控制系統 | 皮拉尼真空計 | 選擇 |
| 電離真空計 | 選擇 | |
| 設置 | 外部尺寸 Body | 530 毫米（寬）×550 毫米（深）×1135 毫米（高） |
| 電源 | 480 毫米（寬）×435.3 毫米（深）×149 毫米（高） | |
| 重量 Body | 75 公斤 | |
| 電源 | 40 公斤 | |
※1：顯示最大板尺寸的值，不考慮薄膜厚度分布。
| 型 | VPC-250F系列 | |
| 所需功率 | 身體 | 100V 單相 50/60Hz 1.35kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D 級（接地電阻/100Ω 以下） | |
| 連接 | 本體 1Φ 100V | Cabtyre 電纜（帶插頭） 2m |
| 電源 1Φ 200V | Cabtyre 電纜（帶 R2.0-5 環形舌片端子） 2m | |
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